全新世代的修阻科技
目前修阻技術的開發已經至少有30年的時間了,始終無法跟上目前的科技需求,現今使用中的修阻機最低只能達到100 mohm,但是良率和平均偏差的表現都不好,QTEST在過去的5年來投入了很多的資源來開發完成這套雷射修阻系統,可以達到最低1 mohm的修阻目標值包含非常好的修阻良率,ULO-100 的設計完全是依照超低阻的修阻需求而設計產生。
全方位解決方案
QTEST具有設計和開發能力提供需求者完整的配套解決方案,協助整合客戶端現有的機構系統與測量系統,或是完整的自動化測試系統方案提供給您非常高效率的生產設備,最重要的一點就是QTEST具有完整的技術開發能力,可以幫助客戶解決所遇到的各種技術問題。
量測系統:
模式:電流驅動、電壓測量
超低阻範圍:f 100mA to 700mA可選擇
範圍選擇:超低阻範圍從標準5mohm to 100mohm(選購:從1mohm)
精確度:+-0.02%最佳設定和範圍選擇
標準偏差:0.003 for 100個標準校正電阻讀值
掃描擴充通道:固態繼電器(SSR)15通道4線式測量模式(Kelvin)
可連接標準無線測試探卡或是QTEST專用主動式測試探卡(選購)
通道數量:最大可擴充到125通道(4線式kelvin)
Accuracy traceability:Hioki Model 3544-0
雷射修阻規格:
修阻能力:5-100mohm(選購:1mohm)
精確度:基本>+0.5%基於目前技術訣竅
修阻良率>90%但取決於材料,厚度和客戶的要求修阻要求
每顆電阻修阻時間:<2sec/pc for初阻值到目標值<10%(包含材質&初阻值到目標值的差異)
基板材料:<20um FOS(IR雷射)
>20um (Green雷射及特殊修阻技術運用)
特殊材料:必須先測試後才能確認技術規格
掃描鏡:Scanlab (德國製)
雷射:雷射(激光)形式取決於修阻的材料
修阻技術:專用的Qtest Technologies Pte Ltd.研發
修組模式:單發/多發深切移除/掃描移除包含長度位置以及延遲時間控制…等
性能可能與FOS材質和厚度的不同有很大的差異
攝影系統/光學系統:
PR相機系統可執行自動對位和測量功能
LASER檢視攝影機可用來確認探卡的跡處位置和雷射(激光)校正確認
具備放大/縮小功能
系統校正:
在工作平台上PR攝影機到載板 **PR攝影機可自動捕捉載板上的定位點自動調整載板上的待修阻片跟探卡上探針的相對正確位置**
載板在工作平台上到雷射端 **用來確認載板和修阻雷射間的θ角可以精確的吻合**
載板在工作平台上到探卡尖端 **用來偵測第一個接觸點和最後一個接觸點間的高低落差平衡修阻面不均勻的問題**
Hioki到QTEST RTS系統的所有主動通道 **用來確認這兩個測量系統間的讀值差異** “Hioki” is a brand of Hioki E.E. Corporation, Japan
系統設置環境需求:
電源供應:單相230V/16A
操作環境溫度:具備恆溫的室內空調工作室
氣壓源要求:乾燥空氣壓力至5PSI輸出,乾淨空氣不含水、油、灰塵
真空壓力源需求:-40KPa最小
系統重量: 約1200Kg
控制電腦:工業級電腦( Intel I5,4GB RAM ) running on Windows 7 Pro
系統機構規格:
工作平台:尺寸(135x125mm)
位置再現性:±10um
位置精確度:±15um
XY步階再現性:±15um
Z行程步長:0.01mm-10mm(可程式化)
真空檯面
XY步階利用馬達帶動
吹風器&真空系統可直接清理修阻後的粉屑
專用的進料/出料裝載系統:
非常方便的可拆卸進料/出料裝載系統
系統尺寸:
1200x1600x1705(mm)